FT-3110系列全自動(dòng)四探針測試儀
發(fā)布時(shí)間： 2026-04-13 14:35:54 點(diǎn)擊： 9076
FT-3110系列全自動(dòng)四探針測試儀
功能介紹Function Introduction
四點(diǎn)探針法、全自動(dòng)化運(yùn)行測量系統(tǒng)
PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法
自動(dòng)正/負(fù)電流輸出，自動(dòng)正/負(fù)電壓測量
測量電阻率、方塊電阻、厚度
可調(diào)探針壓力、測試點(diǎn)數(shù)、多種模式
顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值
提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
適用范圍Scope of application
晶圓、非晶硅/微晶硅和半導(dǎo)體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；
表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測量等；
|
規(guī)格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B（可擴(kuò)展） |
|
1.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
|
2.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
|
3.測試電流 |
0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
|
4.電阻精度 |
≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻） |
|
|
5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報(bào)表生成等 |
|
|
6.壓力范圍 |
探針壓力可調(diào)范圍：100-500g |
|
|
7.探針 |
鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機(jī)械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制 |
|
|
8.載臺(tái)類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺(tái)晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺(tái)尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格 |
|
|
9.分析模式 |
單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測試 |
|
|
10.重復(fù)性 |
單點(diǎn)重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% |
|
|
11.防護(hù)功能 |
具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) |
|
|
12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
|
半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
參數(shù)資料technical data
|
規(guī)格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B（可擴(kuò)展） |
|
1.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
|
2.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
|
3.測試電流 |
0.1μA;1μA;10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
|
4.電阻精度 |
≤0.3%（標(biāo)準(zhǔn)電阻） |
|
|
5.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報(bào)表生成等 |
|
|
6.壓力范圍 |
探針壓力可調(diào)范圍：100-500g |
|
|
7.探針 |
鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機(jī)械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制 |
|
|
8.載臺(tái)類型及尺寸選購 |
選購1:圓形載臺(tái)晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm） 選購2：方片載臺(tái)尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格 |
|
|
9.分析模式 |
單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測試 |
|
|
10.重復(fù)性 |
單點(diǎn)重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% |
|
|
11.防護(hù)功能 |
具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) |
|
|
12.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W |
|
半導(dǎo)體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
參數(shù)資料technical data
三.技術(shù)參數(shù)：
|
規(guī)格型號 |
FT-3110A |
FT-3110B |
|
1.電阻 |
10^-5～2×10^5Ω |
10^-6～2×10^5Ω |
|
2.方塊電阻 |
10^-5～2×10^5Ω/□ |
10^-6～2×10^5Ω/□ |
|
3.電阻率 |
10^-6～2×10^6Ω-cm |
10-7～2×106Ω-cm |
|
4.測試電流 |
0.1μA.1μA.10μA，100μA，1mA， 10mA，100mA |
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA |
|
5.電流精度 |
±0.1% |
|
|
6.電阻精度 |
≤0.3% |
|
|
7.PC軟件操作 |
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、 報(bào)表生成等 |
|
|
8.壓力范圍選購： |
探針壓力可調(diào)范圍：軟件控制,100-500g可調(diào) |
|
|
9.探針 |
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3% 圓頭銅鍍金材質(zhì)，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規(guī)格可定制 |
|
|
10.可測晶片 尺寸選購 |
晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）； 方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm |
|
|
11.分析模式 |
單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測試 |
|
|
12.加壓方式 |
測量重復(fù)性：重復(fù)性≤3% |
|
|
13.安全防護(hù) |
具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào) |
|
|
14.測試環(huán)境 |
真空 |
|
|
15.電源 |
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W |
|
|
16.選購項(xiàng)目 |
電腦和打印機(jī) |
|
